高時間分解能を有するプラズマ電位の新しい測定法

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 電子情報通信学会の論文

著者

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大理工

• 矢倉 信也

  佐賀大学理工学部電気工学科

関連論文

• 3D1-S2 身近な家電・情報機器による電磁波体験型創造性育成教材(展示セッション,日本科学教育学会 第30回年会論文集)
• 第20回電離気体現象に関する国際会議
• 大口径マイクロ波SF_6プラズマによるシリコンの大面積エッチング
• ホロー電極型rfマグネトロンスパッタリングによる銅薄膜の製作
• rf放電プラズマにおける駆動周波数の役割に関する実験的解明
• 発散型磁界ECRSF6プラズマのプローブ測定
• 流体モデルを用いた非対称RF放電プラズマのモデリング
• He-SF6高周波アフターグロープラズマ中の荷電粒子の消滅過程
• 2.Ne-Xe混合ガスを用いた高周波無電極光源における発光輝度の観測((1)光源・回路・放電現象(I) : 電球・蛍光ランプ関係)
• 無電極光源プラズマにおける発光輝度に及ぼす電子密度の影響
• 28. 無電極光源における蛍光体発光輝度に及ぼす封入ガスの影響((2)光源・回路・放電現象(II)(HIDランプ関係・その他))
• 無電極放電プラズマにおける蛍光体発光輝度と発光色に与える電子エネルギーの影響
• 17. 高周波無電極放電プラズマにおける蛍光体発光の輝度特性 : Hg蒸気圧の効果((1)光源・回路・放電現象(I)(電球・蛍光ランプ関係))
• パルス変調高周波放電における蛍光体発光色の観測
• 32. 高周波放電を用いた無電極光源の発光特性((2)光源・回路・放電現象(II)(HIDランプ関係・その他))
• シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
• 二周波プラズマスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜の高速合成 : アルミニウム薄膜高速化
• 24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27aZA-8 電子レンジを用いた科学創造性育成のための教材開発(27aZA 物理教育,領域13(物理教育,物理学史,環境物理))
• リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成
• リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマの高密度化
• リング状溝電極を用いた高密度高周波プラズマ生成とその空間構造
• 2008リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!"-光・音・かぜ…-
• 誘電体バリヤ放電に及ぼすXe/Neガス混合比の影響
• C_2H_2F_2を用いたプラズマCVD法による撥水性薄膜合成とその密着性の検討
• 高周波スパッタ中の炭素微粒子発生と成長過程
• 2007リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!"-エネルギーをつくる、エネルギーをつかう-
• PCS法により作製したZnO-TiO_2-CoO-Al_2O_3系熱電材料の抵抗温度特性
• プロセス用高周波・マイクロ波プラズマ源の開発とその応用
• PCS法により作製したZnO-TiO_2-CoO-Al_2O_3セラミックスの熱電特性と微細構造
• 2006リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!" -通信の科学-
• パルス電流焼結法を用いた酸化亜鉛系セラミックスの焼結に対する試料内部電流の影響
• 家電・情報機器による創造性育成教材 : 電子レンジのふしぎ
• 27aUC-12 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(27aUC プラズマ基礎(強結合系),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 2005年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告キミは未来の科学者だ! : サイエンスマジック
• 29pA04P ECRマイクロ波スパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布の計測(プラズマ基礎・応用)
• プラスマ中のイオン擬似波の励起と伝播
• 高周波放電プラズマにおけるサブミクロン微粒子のダイナミクス
• 低気圧rf微粒子プラズマ中の電位形成
• 25a-F-10 直流バイアス基板前面シースの電位構造に対する負イオンの効果
• 25a-F-9 磁気フィルターによる電子温度低下の制御パラメータ
• 31p-YL-11 磁気フィルターを用いた高周波プラズマの電子温度制御
• ハイブリッドプラズマCVDによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響
• 12p-DF-9 電子ビーム源を用いた弱電離プラズマ中の放電開始
• 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
• 直流電位が印加された境界プラズマ中の電位分布
• 1p-Z-5 電流駆動型イオン音波不安定性中の電位分布
• 24aA35P 精密サイズ連続可変式ペレット入射法の開発とコード計算(トカマク, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 24aB14P C_2H_2F_2ガスを用いた高周波プラズマCVDによる超撥水性薄膜合成とその密着性向上(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27aXG-2 イオンフロー中での複数の微粒子によるイオン摩擦力に関するPICシミュレーション(プラズマ基礎(輸送・非線形),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 25pA18P イオンフロー中で微粒子が受けるイオンドラッグ力に関するPICシミュレーション(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 27pA27P ダストプラズマ中におけるクーロンクラスターの回転機構(プラズマ基礎・応用)
• 非線形LC回路における正のソリトンと負のソリトンの衝突
• 高周波プラズマ中の電子エネルギー分布関数とイオン衝撃2次電子の観測
• 誘導結合型プラズマスパッタリングを用いた銅微粒子合成
• 1a-J-5 境界プラズマ内の不安定波動の励起機構
• 3p-H-6 境界プラズマにおける電流駆動型不安定性による電位形成
• 29p-KL-3 境界プラズマ中の移動電荷2重層
• 22aYA-2 ペレットアブレーションにおける高密度中性粒子・プラズマ共存現象
• 27aC03P プラズマによる水素ペレット溶発の基礎過程(プラズマ基礎・応用)
• 27pA28P ペレットアブレーションにおける高密度溶発雲の流れの考察(プラズマ基礎・応用)
• 光CVDによる光学薄膜の合成
• 5p-F6-1 磁化プラズマ中の電位緩和過程
• 4a-F6-13 イオンビーム不安定系におけるビームエネルギーの挙動
• 磁化プラズマにおける磁界を横切る電位ジャンプの形成機構
• 高時間分解能を有するプラズマ電位の新しい測定法
• 1a-J-9 セパラトリックス磁場配位におけるドリフト不安定性
• ハイブリッドプラズマCVDによるダイヤモンド状炭素膜の合成 : 入射イオンエネルギー効果
• 3p-TC-4 高周波プラズマのイオンエネルギー分布計測
• 間欠ジルコニウムアークプラズマを用いたイオン注入・堆積法によるジルコニア皮膜特性のAr/O_2流量およびアーク電流依存性
• イオンビームプラズマ系における2流体不安定性の観測
• 非線形送電線路における異常電圧の伝播特性
• アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響
• 20pA11P MgO電極を用いた狭ギャップ容量結合型放電の高密度化(プラズマ基礎・応用)
• 27p-G-2 ソリトンによるプリカーサー衝突の熱化傾向
• 1p-RD-4 多種イオンプラズマ中のイオンビーム不安定性II
• 11a-R-12 多種イオンプラズマ中のイオンビーム不安定性
• 30a-W-33 放電プラズマ中のダブルレイヤーの形成
• 3p-H-5 電子シースにおける電荷二重層の形成の動特性
• 11a-R-5 弱電離プラズマにおける電荷二重層の生成と消滅
• 29p-KL-2 電荷二重層における負電位スパイクの観測
• 電子サイクロトロン運動と波乗り効果を重畳した高周波放電の観測
• エミッシブプローブによるプラズマの電位測定
• 誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
• 2004年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告
• 29pWH-11 内部リングアンテナを用いたRFプラズマ中での帯電微粒子群の空間的挙動(プラズマ基礎・科学(非中性・ダスト))(領域2)
• 1p-P-2 エミッシブグリッドによるイオン音波の励起
• 電子ビ-ムを流入した低気圧気体の放電開始過程
• 直流マグネトロンプラズマCVDにより形成した酸化スズ薄膜の光学及び電気的性質に及ぼす基板温度の影響
• リフレッシュ理科教室 (九州支部佐賀会場) 開催報告
• 23aXF-8 負イオンプラズマにおけるシース電位構造の観測
• 27aA03 誘導結合型プラズマ生成に及ぼすアンテナ形状の影響(プラズマ基礎・応用)
• 25pH-1 バイアス基板に入射するイオンエネルギー分布に及ぼす印加周波数の影響
• 13p-DG-1 RFを用いたプラズマ生成
• プラズマプロセシングにおけるシ-スの役割 (最近のシ-ス問題)
• 直流平板マグネトロンCVDによる酸化すず薄膜合成に及ぼすプラズマ特性の影響
• 家電・情報機器による創造性育成教材 : 電子レンジのふしぎ(ヘッドライン:新世紀型理数科系教育の展開研究II)
• 02aC27P アブレーション現象研究のための連続的サイズ可変式ペレット入射法の開発(ヘリカルII)
• 25aXG-12 浮遊微粒子の高周波電極近傍における空洞機構
• プラズマプロセシングにおけるシ-スの役割 (最近のシ-ス問題)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク