アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響
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概要
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- 2003-12-12
著者
-
中村 圭二
中部大学
-
藤田 寛治
佐賀大学理工学部
-
大津 康徳
佐賀大学理工学部
-
行村 建
同志社大学
-
中村 圭二
中部大学工学部
-
大津 康徳
佐賀大学
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
義永 博章
同志社大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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