26aB05P 容量結合型放電における高密度プラズマ生成に与える酸化物電極の影響(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2003-11-18
著者
-
大津 康徳
佐賀大学
-
藤田 寛治
佐賀大理工
-
大津 康徳
佐賀大理工
-
三沢 達也
佐賀大理工
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
藤田 寛治
佐賀大学
-
Fujimori Hiroyasu
Institute Of Material Research Tohoku University
-
三沢 達也
佐賀大学
-
島添 稔博
佐賀大理工
-
Fujita H
Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)
-
藤田 寛治
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
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