ハイパワーパルスマグネトロンスパッタプラズマ源のガス圧力依存性
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概要
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- 2011-05-27
著者
-
池畑 隆
茨城大学
-
赤松 浩
神戸高専
-
東 欣吾
兵庫県立大
-
東 欣吾
姫路工大
-
東 欣吾
姫路工業大学 大学院工学研究科
-
赤松 浩
神戸市立工業高等専門学校
-
奥原 大地
兵庫県立大学
-
東 欣吾
兵庫県立大学
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