ホロカソード・マグネトロン放電を利用した金属プラズマ源の開発
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概要
著者
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八束 充保
姫路工業大学工学部
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八束 充保
兵庫県立大院工
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八束 充保
兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻
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赤松 浩
神戸高専
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東 欣吾
姫路工大
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東 欣吾
姫路工業大学 大学院工学研究科
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赤松 浩
神戸市立工業高等専門学校
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八束 充保
兵庫県大
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