UBMスパッタリング法で作製したTiN膜の窒素プラズマイオン注入による耐食性改善

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著者

• 八束 充保

  姫路工業大学工学部

• 内田 仁

  姫路工業大学工学部

• 八束 充保

  兵庫県立大院工

• 八束 充保

  兵庫県立大学大学院工学研究科電気系工学専攻

• 八束 充保

  兵庫県大

• 内田 仁

  兵庫県立大学大学院

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