CVDダイヤモンドドリルによる単結晶Siの穴あけ加工性能
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2002-01-05
著者
-
内田 仁
姫路工業大学工学部
-
増田 敬
エムエムシーコベルコツール(株)
-
内田 仁
姫路工業大学工学部機械工学科
-
亀岡 誠司
エムエムシーコベルコツール(株)
-
早崎 浩
エムエムシーコベルコツール(株)
-
本西 英
エムエムシーコベルコツール(株)
-
内田 仁
姫路工業大学
関連論文
- 1410 高硬質(Ti,B)N薄膜構造の放射光解析(G04-1 機械材料・材料加工(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 高エネルギー・高密度イオン注入によって作製したTiNの特性評価
- UBMスパッタリング法で作製したTiN膜の窒素プラズマイオン注入による耐食性改善
- 一方向繊維強化複合材料の統計的疲労特性評価 (JCOM-38 プログラム--材料・構造の複合化と機能化に関するシンポジウム)
- 214 一方向繊維強化複合材料の疲労特性に対する確率モデルの構築(材料の疲労強度と信頼性,材料・機械・構造物の安全性と信頼性,オーガナイスドセッション6)
- [フェライト/ベイナイト]ハイブリッド材の疲労き裂進展挙動に及ぼす硬度の影響
- 334 イオンミキシング蒸着法により作製したBN薄膜の内部応力に及ぼす成膜条件の影響(測定・評価I,一般セッション)
- 215 統計的手法に基づく織物複合材料の疲労寿命予測に関する研究(材料の疲労強度と信頼性,材料・機械・構造物の安全性と信頼性,オーガナイスドセッション6)
- 最近のフラクトグラフィとその応用 : 2.環境破壊(I) : 応力腐食割れ, 水素ぜい化割れ
- 高純度フェライト系ステンレス鋼単結晶の水素ぜい化に及ぼす引張軸方位の影響
- レーザ処理された熱間工具鋼の疲労強度特性と信頼性評価
- レーザ処理された熱間工具鋼の疲労強度
- 銅管の加速浸漬試験による1型孔食発生機構の検討
- SUS304鋼ターゲットを用いた非平衡マグネトロンスパッタ法によるステンレス鋼薄膜
- 低Ni, Mo系二相ステンレス鋼の耐食性に及ぼすCuの影響
- 疲労強度分布に注目した S-N 線図の統計的決定法に関する研究(信頼性工学)
- イオンミキシング蒸着法によって作製したTiN薄膜の結晶配向性とピンホール欠陥(腐食防食)
- イオンミキシング蒸着法によるTiN薄膜の作製とピンホール欠陥評価
- 全国17年大気暴露鋼材の結晶性さび組成と耐候性
- 純 Ti/A5083 AI 合金摩擦圧接継手の 3.5%NaCl 水溶液中における腐食電流分布
- 純銅の酢酸溶液中での腐食割れ感受性に及ぼす冷間加工度およびひずみ速度の影響
- [ヌェライト/ベイナイト]ハイヌ゛リッド材における疲労き裂進展挙動
- 純銅の酢酸溶液中における応力腐食割れ
- 240 走査型振動電極法による Cu 傾角Σ3,Σ11 双結晶の粒界腐食電位の測定
- SUS310S鋼粗大結晶のMgCl_2溶液中における応力腐食割れ破面解析
- 深冷処理したSUS301鋼の応力腐食割れ感受性(腐食防食小特集)
- 水素チャージしたSUS304ステンレス鋼の応力腐食割れ感受性
- SUS 304 綱の応力腐食割れ感受性に及ぼす冷間加工と熱処理の影響(腐食防食小特集)
- CVDダイヤモンドドリルの単結晶Si穴あけ加工への適用
- CVDダイヤモンドドリルによる単結晶Siの穴あけ加工性能
- 生材加工用ミラクル40エンドミル・ドリルと非鉄加工用ダイヤモンドコーティングエンドミル・ドリル (特集 ドライ・セミドライ加工用工具の加工性能)
- プラズマ発光強度信号による高周波反応性スパッタリングプロセスの動的制御
- SUS316鋼およびインコネル600鋭敏化材の粒界腐食と水素ぜい化感受性
- 電子チャンネリングパターン法による応力腐食割れ破面解析(フラクトグラフィ)
- インコネル600鋭敏化材の水素ぜい化挙動
- 反応性スパッタリング法によって作製したAIN/TiN二層薄膜の高温酸化挙動
- SUS316鋼鋭敏化材の水素ぜい化挙動
- 129 SUS316 鋼およびインコネル 600 鋭敏化材の粒界腐食と水素ぜい化感受性
- 冷間加工されたSUS304鋼単結晶の水素ぜい化
- TiN被覆ステンレス鋼におけるピンホール欠陥の電気化学的評価
- 冷間加工した純チタンの粒界ぜい化と応力腐食割れ(腐食防食小特集)
- 応力負荷法を異にするSUS304鋼の応力腐食割れ感受性
- 冷間加工したジルカロイ-2の粒界腐食と応力腐食割れ(フラクトグラフィ特集)
- 定電位SSRT法によるSUS316鋼単結晶の応力腐食割れ
- 217 応力負荷法を異にするSUS304鋼の応力腐食割れ感受性(腐食)
- 純銅のNaNo_2溶液中における応力腐食割れ感受性
- 純チタンCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れとその電位依存性
- SUS316鋼単結晶の応力腐食割れに及ぼす引張軸方位の影響
- SSRT法によるSUS 310S鋼単結晶の応力腐食割れ
- 304 定電位SSRT法によるSUS316鋼単結晶の応力腐食割れ(応力腐食割れ)
- 純チタンのCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れ
- 329 SUS316鋼単結晶の応力腐食割れに及ぼす引張軸方位の影響(応力腐食割れ)
- 純銅単結晶のNaNO_2溶液中における応力腐食割れ
- Al/Mn/Al三層薄膜における界面反応
- 129 純チタンのCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れ(応力腐食割れ)
- 206 (フェライト/ベイナイト)ハイブリッド材における疲労き裂進展挙動
- 腐食防食雑感
- [9801] 耐候性鋼における安定さび層とその防食機能
- OS0416 損傷進展解析による織物複合材料の疲労寿命評価(先端材料システムの力学とメゾスケールモデリング,オーガナイズドセッション)
- 深冷処理したSUS 301 鋼単結晶の応力腐食割れ
- SUS 301 鋼のMgCl_2溶液中における応力腐食割れの発生と伝ぱに及す環境因子の影響
- SUS301ステンレス鋼の応力腐食割れ感受性に及す加工誘起α'-マルテンサイトの影響
- SUS304ステンレス鋼単結晶における水素ぜい化の引張軸方位依存性
- ジルカロイ-2のCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れとその電位依存性
- SUS 310S鋼単結晶の応力腐食割れとその結晶学的研究(腐食防食小特集)
- 冷間加工された SUS 304 鋼の鋭敏化と応力腐食割れ
- 231 高純度フェライト系ステンレス鋼単結晶の水素ぜい化に及ぼす結晶方位の影響(水素ぜい化割れ)
- 〈001〉引張軸を有する鉄単結晶の水素誘起割れと水素ぜい化
- 鉄単結晶の水素誘起割れと水素ぜい化に及ぼす冷間加工の影響
- SUS304 鋼単結晶のMgCl_2 溶液中における応力腐食割れとその電位依存性
- SUS304鋼単結晶の応力腐食割れに及ぼす引張軸方位の影響(腐食防食小特集)
- 鉄の水素ぜい化に及ぼす負荷応力および冷間加工の影響
- 132 高純度フェライト系ステンレス鋼の水素ぜい化に及ぼす冷間加工の影響(応力腐食割れ)
- 131 SUS304鋼単結晶の水素ぜい化に及ぼす結晶方位の影響(応力腐食割れ)
- 129 SUS304鋼単結晶のMgCl_2溶液中における応力腐食割れ : 電位の影響(疲労微小き裂・応力腐食割れ)
- 227 二相ステンレス鋼の応力腐食割れ感受性におよぼす冷間加工の影響
- 132 インコネル600鋭敏化材の水素ぜい化挙動(応力腐食割れ)
- 216 冷間加工されたSUS304鋼単結晶の水素ぜい化(破壊・残留応力)
- CVDダイヤモンド膜の断続的衝撃による損傷過程
- CVDダイヤモンド膜合成のための超硬合金の表面改質
- PWB加工におけるCVDダイヤモンドドリルの摩耗挙動
- SUS 310 S 綱のMgCl_2溶液中における応力腐食割れ発生の電位依存性
- ジルカロイ-2のCH3OH/HCl溶液中における応力腐食割れ
- 精密金型の材料と加工
- 冷間加工されたSUS304 鋼単結晶の応力腐食割れ
- イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価
- 624 低歪速度法によるマグネシウム合金の応力腐食割れ評価(応力腐食割れ,一般セッション)
- 310 マグネシウム合金の応力腐食割れ感受性に及ぼす熱処理の影響(金属材料I,一般セッション)
- 728 イオンビーム支援TiN被覆炭素鋼の疲労強度特性に及ぼすイオン照射エネルギーの影響(表面改質,疲労損傷観察ならびに強度評価,オーガナイスドセッション1)
- 618 島状表面ナノ構造を有するTiN薄膜の創製と機械的特性(セラミック/ナノ材料の評価,セラミック/ナノ材料の創成と評価,オーガナイスドセッション8)
- 729 イオンビーム支援蒸着によるTiN被覆工具鋼のフレッティング疲労損傷(表面改質,疲労損傷観察ならびに強度評価,オーガナイスドセッション1)
- 520 低歪速度法によるAZ61マグネシウム合金の応力腐食割れ評価(腐食環境下の破壊,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 107 SiN/SiC積層薄膜の創製とその自己き裂治癒能力(薄膜・界面強度,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 305 イオンビーム支援蒸着法により作製したBN薄膜の機械的特性と内部応力緩和法の検討(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)
- 301 自己き裂治癒能力を有するSiN/SiC積層薄膜の創製(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)
- 725 イオンビーム支援蒸着法により成膜したTiN薄膜の破壊挙動(界面の破壊特性I,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)