334 イオンミキシング蒸着法により作製したBN薄膜の内部応力に及ぼす成膜条件の影響(測定・評価I,一般セッション)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2008-05-23
著者
-
山下 正人
兵庫県立大学 大学院 工学研究科機械系工学専攻
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院 工学研究科
-
花木 聡
兵庫県立大院
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
内田 仁
姫路工業大学工学部
-
山下 正人
姫路工大 大学院工学研究科
-
山下 正人
住友金属工業株式会社総合技術研究所
-
冷 波
兵庫県立大学大学院
-
山下 正人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
内田 仁
姫路工業大学工学部機械工学科
-
花木 聡
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学
-
花木 聡
兵庫県立大学
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