808 イオンミキシング蒸着法による(Ti,Al)N薄膜の作製と特性評価(薄膜物性,一般セッション,第53期学術講演会)
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概要
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- 2004-05-14
著者
-
山下 正人
兵庫県立大学 大学院 工学研究科機械系工学専攻
-
山下 正人
姫路工大 大学院工学研究科
-
山下 正人
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
内田 仁
兵庫県立大学
-
花木 聡
兵庫県立大学
-
藤元 隆史
兵庫県立大院
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