イオンビーム援用BN薄膜の作製と内部応力発生機構の検討

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概要

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• プラズマ応用科学会の論文

著者

• 山下 正人

  姫路工大 大学院工学研究科

• 山下 正人

  住友金属工業株式会社総合技術研究所

• 冷 波

  兵庫県立大学大学院

• 山下 正人

  兵庫県立大学大学院工学研究科

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