イオンミキシング蒸着法により作製した高硬質(Ti,B)N薄膜の構造に及ぼす成膜条件の影響

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概要

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著者

• 山下 正人

  姫路工大 大学院工学研究科

• 山下 正人

  住友金属工業株式会社総合技術研究所

• 山下 正人

  兵庫県立大学大学院工学研究科

• 花木 聡

  兵庫県立大学大学院

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