イオンビーム支援蒸着法による島状ナノ構造TiN薄膜の創製

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概要

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• プラズマ応用科学会の論文

著者

• 花木 聡

  兵庫県立大学大学院

• 中谷 正憲

  兵庫県立大学

• 大澤 拓也

  兵庫県立大学

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