305 イオンビーム支援蒸着法により作製したBN薄膜の機械的特性と内部応力緩和法の検討(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)
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概要
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- 社団法人日本材料学会の論文
- 2011-05-24
著者
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
内田 仁
姫路工業大学工学部
-
内田 仁
姫路工業大学工学部機械工学科
-
中谷 正憲
兵庫県立大
-
花木 聡
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学大学院
-
内田 仁
兵庫県立大学
-
花木 聡
兵庫県立大学
-
植山 広基
兵庫県立大学大学院
-
中谷 正憲
兵庫県立大学
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