反応性スパッタリング法によって作製したAIN/TiN二層薄膜の高温酸化挙動
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1996-11-20
著者
-
井上 尚三
兵庫県大
-
内田 仁
姫路工業大学工学部
-
井上 尚三
姫路工業大学産業機械工学科
-
小寺澤 啓司
姫路工業大学工学部機械知能工学科
-
小寺澤 啓司
兵庫県立大学大学院機械系工学専攻
-
日置 淳司
姫路工業大学工学部機械知能工学科
-
内田 仁
姫路工業大学
-
小寺澤 啓司
姫路工業大学
関連論文
- 1410 高硬質(Ti,B)N薄膜構造の放射光解析(G04-1 機械材料・材料加工(1),21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 436 薄膜材料を対象とした二軸引張試験技術の開発(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 高エネルギー・高密度イオン注入によって作製したTiNの特性評価
- UBMスパッタリング法で作製したTiN膜の窒素プラズマイオン注入による耐食性改善
- 一方向繊維強化複合材料の統計的疲労特性評価 (JCOM-38 プログラム--材料・構造の複合化と機能化に関するシンポジウム)
- 214 一方向繊維強化複合材料の疲労特性に対する確率モデルの構築(材料の疲労強度と信頼性,材料・機械・構造物の安全性と信頼性,オーガナイスドセッション6)
- [フェライト/ベイナイト]ハイブリッド材の疲労き裂進展挙動に及ぼす硬度の影響
- 334 イオンミキシング蒸着法により作製したBN薄膜の内部応力に及ぼす成膜条件の影響(測定・評価I,一般セッション)
- 215 統計的手法に基づく織物複合材料の疲労寿命予測に関する研究(材料の疲労強度と信頼性,材料・機械・構造物の安全性と信頼性,オーガナイスドセッション6)
- Ti-Ni薄膜の形状回復力を用いた高接触力MEMSプローブカードの試作
- T0302-1-4 Al/Ni発熱多層膜を含むAgSnはんだ接合部材の強度評価(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- 437 Ag-Snはんだ接合微小要素の強度試験(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 最近のフラクトグラフィとその応用 : 2.環境破壊(I) : 応力腐食割れ, 水素ぜい化割れ
- 高純度フェライト系ステンレス鋼単結晶の水素ぜい化に及ぼす引張軸方位の影響
- レーザ処理された熱間工具鋼の疲労強度特性と信頼性評価
- レーザ処理された熱間工具鋼の疲労強度
- 銅管の加速浸漬試験による1型孔食発生機構の検討
- SUS304鋼ターゲットを用いた非平衡マグネトロンスパッタ法によるステンレス鋼薄膜
- 621 非平衡マグネトロンスパッタリング法によって作製した SUS304 ステンレス鋼薄膜
- 210 Ni_2MnGa 強磁性形状記憶合金の変形挙動
- 102 Ni_2MnGa(Fe) 強磁性形状記憶合金の機械的性質におよぼす温度の影響
- 低Ni, Mo系二相ステンレス鋼の耐食性に及ぼすCuの影響
- 疲労強度分布に注目した S-N 線図の統計的決定法に関する研究(信頼性工学)
- イオンミキシング蒸着法によって作製したTiN薄膜の結晶配向性とピンホール欠陥(腐食防食)
- イオンミキシング蒸着法によるTiN薄膜の作製とピンホール欠陥評価
- 全国17年大気暴露鋼材の結晶性さび組成と耐候性
- 純 Ti/A5083 AI 合金摩擦圧接継手の 3.5%NaCl 水溶液中における腐食電流分布
- 純銅の酢酸溶液中での腐食割れ感受性に及ぼす冷間加工度およびひずみ速度の影響
- [ヌェライト/ベイナイト]ハイヌ゛リッド材における疲労き裂進展挙動
- 純銅の酢酸溶液中における応力腐食割れ
- T0302-1-3 環境制御型引張試験システムを用いたAl合金薄膜の機械的特性評価(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- 240 走査型振動電極法による Cu 傾角Σ3,Σ11 双結晶の粒界腐食電位の測定
- 窒素イオン注入法によるアルミニウム上へのAlNの形成
- 2836 ラマン計測援用単軸引張試験による単結晶Siマイクロ構造体の平面応力定量評価(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- スパッタリングにより作製したアモルファスSi_1_-_xC_x薄膜の結晶化
- 非平衡スパッタリング法によるTi-Ni形状記憶合金薄膜の作製とその通電加熱に伴う形状記憶挙動
- 2830 オンチップ曲げ試験による薄膜材料のポアソン比評価技術の開発(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 1108 Al/Ni自己伝播発熱多層膜を用いたはんだ接着MEMSパッケージの接着強度評価(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS実装用はんだ接合技術の開発 (特集 マイクロマテリアル)
- 307 MEMSアクチュエータ設計のためのTi-Ni形状記憶合金薄膜の熱機械特性評価(MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション(2),OS03 MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション)
- 斜入射スパッタリング法による特異な微細構造を有する金属薄膜の形成
- MEMS実装に向けたAu-Snはんだ薄膜材料の力学特性評価技術の開発
- マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価
- Ni_2MnGa 強磁性形状記憶合金単結晶の低リサイクル圧縮疲労挙動
- 829 X 線回折援用引張り試験装置の開発による MEMS 材料の機械的性質評価
- SUS310S鋼粗大結晶のMgCl_2溶液中における応力腐食割れ破面解析
- 深冷処理したSUS301鋼の応力腐食割れ感受性(腐食防食小特集)
- 水素チャージしたSUS304ステンレス鋼の応力腐食割れ感受性
- SUS 304 綱の応力腐食割れ感受性に及ぼす冷間加工と熱処理の影響(腐食防食小特集)
- 高周波反応性スパッタリング法による窒化物薄膜作製プロセスにおよぼすターゲット金属の影響
- タイトル無し
- Fe-Pd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Thin Films Made By Dual Source DC Magnetron Sputtering
- 高周波反応性スパッタリング法による窒化物薄膜作製プロセスにおよぼすターゲット金属の影響
- CVDダイヤモンドドリルの単結晶Si穴あけ加工への適用
- CVDダイヤモンドドリルによる単結晶Siの穴あけ加工性能
- スパッタリング法によって作製したTi/C多層膜の構造と機械的性質
- SUS304 鋼単結晶における加工誘起α'マルテンサイトの生成挙動に及ぼす引張軸方位の影響
- 209 Ti-Ni 合金の水素チャージ下での変形挙動に及ぼす電解液の影響
- 606 Ti-Ni 合金の形状記憶特性におよぼす電流密度の影響
- 337 SUS304 鋼単結晶における加工誘起α′マルテンサイトの生成挙動におよぼす引張軸方位の影響
- 332 Ti-Ni 合金の形状記憶特性に及ぼす水素の影響
- 219 オーステナイト系ステンレス鋼における水素誘起マルテンサイトの生成挙動
- 218 磁気力を利用したα'マルテンサイト測定装置の試作
- プラズマ発光強度信号による高周波反応性スパッタリングプロセスの動的制御
- SUS316鋼およびインコネル600鋭敏化材の粒界腐食と水素ぜい化感受性
- 電子チャンネリングパターン法による応力腐食割れ破面解析(フラクトグラフィ)
- インコネル600鋭敏化材の水素ぜい化挙動
- 反応性スパッタリング法によって作製したAIN/TiN二層薄膜の高温酸化挙動
- SUS316鋼鋭敏化材の水素ぜい化挙動
- 129 SUS316 鋼およびインコネル 600 鋭敏化材の粒界腐食と水素ぜい化感受性
- 冷間加工されたSUS304鋼単結晶の水素ぜい化
- TiN被覆ステンレス鋼におけるピンホール欠陥の電気化学的評価
- 106 CPCD 法による TiN 被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥評価
- 冷間加工した純チタンの粒界ぜい化と応力腐食割れ(腐食防食小特集)
- 応力負荷法を異にするSUS304鋼の応力腐食割れ感受性
- 冷間加工したジルカロイ-2の粒界腐食と応力腐食割れ(フラクトグラフィ特集)
- 高周波反応性スパッタリング法によるAl-AlN系傾斜機能薄膜の作製
- 定電位SSRT法によるSUS316鋼単結晶の応力腐食割れ
- 217 応力負荷法を異にするSUS304鋼の応力腐食割れ感受性(腐食)
- 高周波反応性スパッタリング法による(001)NaCl基板上でのTiN薄膜の成長
- 高周波反応性スパッタリング法によって作製したAlN薄膜の構造と組成
- 純銅のNaNo_2溶液中における応力腐食割れ感受性
- 純チタンCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れとその電位依存性
- SUS316鋼単結晶の応力腐食割れに及ぼす引張軸方位の影響
- SSRT法によるSUS 310S鋼単結晶の応力腐食割れ
- 304 定電位SSRT法によるSUS316鋼単結晶の応力腐食割れ(応力腐食割れ)
- 純チタンのCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れ
- 329 SUS316鋼単結晶の応力腐食割れに及ぼす引張軸方位の影響(応力腐食割れ)
- 純銅単結晶のNaNO_2溶液中における応力腐食割れ
- Al/Mn/Al三層薄膜における界面反応
- 129 純チタンのCH_3OH/HCl溶液中における応力腐食割れ(応力腐食割れ)
- 206 (フェライト/ベイナイト)ハイブリッド材における疲労き裂進展挙動
- 腐食防食雑感
- [9801] 耐候性鋼における安定さび層とその防食機能
- OS0416 損傷進展解析による織物複合材料の疲労寿命評価(先端材料システムの力学とメゾスケールモデリング,オーガナイズドセッション)
- T0302-3-1 Al/Ni発熱反応に基づくAgSn共晶はんだ接着部の強度評価([T0302-3]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(3):微小構造部材の加工・評価)
- T0302-2-3 立体配向顕微鏡を用いた非接触・非破壊歪み計測([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
- T0302-3-3 二軸引張試験によるAl-Si-Cu薄膜の降伏曲面に及ぼすアニールの影響([T0302-3]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(3):微小構造部材の加工・評価)
- MNM-P1-3 二軸引張試験によるAl-Si-Cu薄膜の降伏曲面に及ぼすアニールの影響(合同ポスターセッション P1 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
- 曲げーねじり複合モードでの微小材料強度試験技術の開発