MNM-P1-3 二軸引張試験によるAl-Si-Cu薄膜の降伏曲面に及ぼすアニールの影響(合同ポスターセッション P1 単結晶・多結晶シリコンの疲労寿命評価とメカニズムの解明)
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概要
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We have developed biaxial tensile tester for thin film materials, which is able to measure mechanical properties under uniaxial and biaxial tensile stress states. This paper focuses on evaluating the effect of annealing on mechanical characteristics of Al-Si-Cu film deposited by sputtering. The yield stress under biaxial stress state definitely differed from that under uniaxial state. The obtained yield loci were well approximated by Hill's yield function with different R values. The annealing effect on yield stress was discussed using Auger spectroscopy results.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-10-12
著者
-
生津 資大
兵庫県大
-
井上 尚三
兵庫県大
-
吉木 啓介
兵庫県立大学工学研究科
-
井上 尚三
姫路工業大学産業機械工学科
-
藤井 雅之
兵庫県大院
-
吉木 啓介
兵庫県大
-
生津 資大
丘庫県大工
-
吉木 啓介
兵庫県立大学
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