T0302-2-3 立体配向顕微鏡を用いた非接触・非破壊歪み計測([T0302-2]高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測)
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概要
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We developed a system to analyze microscopic deformation, which can visualize inhomogeneous deformation in MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) devices by using single-molecule markers. As MEMS devices become smaller, their mechanical properties seem to become inhomogeneous. This causes an undesirable distribution of deformation and stress, and decreases the reliability of the MEMS devices. We distributed fluorescent single molecules discretely on the microstructure of a MEMS device, and traced their relative displacements and rotations by observation under a three-dimensional orientation microscope, which provided information about normal, torsional, and bending displacements.
- 2010-09-04
著者
-
井上 尚三
兵庫県大
-
橋本 信幸
シチズンホールディングス(株)開発部
-
橋本 守
大阪大学大学院 基礎工学研究科
-
吉木 啓介
兵庫県立大学工学研究科
-
井上 尚三
姫路工業大学産業機械工学科
-
栗原 誠
シチズンホールディングス(株)開発部・光学デバイスプロジェクト
-
橋本 信幸
シチズンテクノロジーセンター(株)nxgセンターad開発室
-
橋本 守
大阪大学大学院基礎工学研究科機能創成専攻
-
橋本 信幸
シチズンホールディングス(株)開発部・光応用技術開発課
-
吉木 啓介
兵庫県大工
-
増田 恭佑
兵庫県大工
-
橋本 守
阪大基工
-
生津 資大
丘庫県大工
-
井上 尚三
兵庫県大工
-
栗原 誠
シチズンホールディングス(株)
-
橋本 信幸
シチズン
-
吉木 啓介
兵庫県立大学
-
栗原 誠
シチズンホールディングス (株) 開発部
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