Ti-Ni薄膜の形状回復力を用いた高接触力MEMSプローブカードの試作
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概要
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- 2005-06-22
著者
-
松井 真二
兵庫県立大高度研
-
田代 洋一
兵庫県立大学
-
井上 尚三
兵庫県大
-
中松 健一郎
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
岡村 雄太
兵庫県立大学
-
生津 資大
兵庫県立大学
-
井上 尚三
兵庫県立大学
-
井上 尚三
姫路工業大学産業機械工学科
-
松井 真二
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
松井 真二
兵庫県立大
-
松井 真二
兵庫県大 高度産業科技研
-
生津 資大
丘庫県大工
-
生津 資大
兵庫県立大
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