スパッタリング法によって作製したTi/C多層膜の構造と機械的性質
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-07-20
著者
-
新部 正人
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
-
井上 尚三
兵庫県大
-
岩佐 美喜男
産業技術総合研究所関西センター
-
岩佐 美喜男
産業技術総合研究所
-
新部 正人
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
-
井上 尚三
姫路工業大学産業機械工学科
-
小寺澤 啓司
姫路工業大学工学部機械知能工学科
-
小寺澤 啓司
兵庫県立大学大学院機械系工学専攻
-
長井 健志
姫路工業大学工学部機械知能工学科
-
小寺澤 啓司
姫路工業大学
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