307 MEMSアクチュエータ設計のためのTi-Ni形状記憶合金薄膜の熱機械特性評価(MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション(2),OS03 MEMSの計測・モデリング・マルチフィジックスシミュレーション)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-02

著者

• 井上 尚三

  兵庫県大

• 岡村 雄太

  兵庫県立大学

• 生津 資大

  兵庫県立大学

• 井上 尚三

  兵庫県立大学

• 井上 尚三

  姫路工業大学産業機械工学科

• 生津 資大

  丘庫県大工

• 生津 資大

  兵庫県立大

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