スパッタ法によるa-Si_1_-_xC_x薄膜の構造
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概要
著者
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須崎 嘉文
香川大学工学部
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
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芳井 熊安
大阪大学工学部
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須崎 嘉文
高松工業高等専門学校高機能化技術教育研究センター
-
井上 尚三
姫路工業大学産業機械工学科
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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