高周波スパッタ蒸着法による多結晶Si薄膜の低温成長に関する研究(第4報) -結晶粒の大粒径化に関する検討-
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概要
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- 1996-03-01
著者
-
竹内 昭博
大阪大学大学院
-
森 勇藏
大阪大学工学部
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
-
芳井 熊安
大阪大学工学部
-
安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
-
垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
-
垣内 弘章
大阪大学工学部
-
安武 潔
大阪大学工学研究科
-
竹内 昭博
大阪大学工学研究科
-
安見 正博
大阪大学大学院
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
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