次世代を担う原子・電子レベルの先端技術 : 超精密加工専門委員会の目指すところ(超精密加工専門委員会)(<特集>専門委員会研究レビュー)

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概要

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• 1996-06-05

著者

• 山内 和人

  大阪大学大学院工学研究科

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院

• 森 勇藏

  大阪大学大学院 工学研究科

• 安武 潔

  大阪大学大学院工学研究科

• 安武 潔

  大阪大学 大学院工学研究科

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