第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Machinig)加工機構の解明 : Si(001)表面とSiO_2微粒子の結合過程および分離過程の解明
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
山内 和人
阪大院工
-
広瀬 喜久治
大阪大学大学院工学研究科
-
森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
-
稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科
-
神尾 豪
大阪大学大学院工学研究科
-
杉山 和人
高知高専
-
稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
中越 亮祐
大阪大学大学院工学研究科
-
山内 和人
大阪大学大学院 工学研究科
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