次世代の超精密加工 : 原子制御製造プロセスの創出に向けて(超精密加工専門委員会,<特集>専門委員会・分科会研究レビュー)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2008-10-05
著者
-
山内 和人
阪大院工
-
山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
-
Yamauchi Kazuto
Department Of Precision Science And Technology Graduate School Of Engineering Osaka University
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