プラズマCVMおよびEEMによるシンクロトロン放射X線用楕円ミラーの作製と集光特性の評価

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概要

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• New fabrication methods referred to elastic emission machining (EEM) and plasma chemical vaporization machining (CVM) together with a new figure testing method based on stitching interferometry were applied to prepare the ultraprecise hard x-ray mirror optics. A steeply aspheric ellipsoid mirror for micro-focusing was fabricated and found to achieve nearly diffraction-limited performances. The focusing properties were predicted wave-optically from the measured surface profiles and compared to the observed results. They were in so good agreement that all factors such as incident beam coherency, beam profile measurement, mirror shape metrology and fabrication technology were concluded to be all in the advanced levels.

• 社団法人精密工学会の論文
• 2002-10-05

著者

• 矢橋 牧名

  JASRI

• 玉作 賢治

  理研

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 山内 和人

  阪大院工

• 森 勇藏

  大阪大学大学院工学研究科

• 齋藤 彰

  大阪大学大学院工学研究科

• 三村 秀和

  阪大院工

• 玉作 賢治

  理化学研究所播磨研究所

• 矢橋 牧名

  高輝度光科学研究センター放射光研究所

• 石川 哲也

  理化学研究所

• 山内 和人

  大阪大学大学院工学研究科

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大 大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• スボロフ アレクセイ

  高輝度光科学研究センター放射光研究所

• 石川 哲也

  理化学研究所放射光科学総合研究センター

• 森 勇藏

  大阪大学大学院 工学研究科

• SOUVOROV Alexei

  高輝度光科学研究センター

• Yamamura K

  Kyoto Univ. Kyoto

• 斎藤 彰

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻

• Souvorov A

  高輝度光科学研究セ

• Souvorov A

  高輝度光科学研究セ 放射光研

• 斎藤 彰

  大阪大学大学院工学研究科

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院

• 山内 和人

  大阪大学大学院 工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科

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