大気圧プラズマによるエッチングを応用した種々の加工法とその特性 (特集 最近の興味深いビーム加工技術と将来動向)
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概要
著者
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佐野 泰久
阪大院工
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山内 和人
阪大院工
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山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
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佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
Yamamura K
Kyoto Univ. Kyoto
-
Yamauchi Kazuto
Department Of Precision Science And Technology Graduate School Of Engineering Osaka University
-
山内 和人
阪大工
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