触媒表面基準エッチングによる単結品SiC,GaN,ZnO表面の平滑化 (特集 酸化物表面のウェットプロセス)

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概要

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著者

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 山内 和人

  阪大院工

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

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