数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究(第1報) : X線ミラー加工用装置の開発
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概要
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Numerically controlled plasma CVM machine has been developed in order to fabricate the ultra-high accuracy X-ray mirror efficiently without making the deformed layer. In this machine, gas bearing was applied to the rotary electrode for plasma generation and XY-table in order to maintain the cleanliness of the machining atmosphere. As a result of machining the plane mirror made of the silicon for the X-ray using this machine, 22.5 nm (p-v) was achieved as flatness.
- 2001-01-05
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院
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