高圧力・高周波プラズマの計測と制御-赤外半導体レーザー吸収分光法によるプラズマ中のラジカル計測-
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概要
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- 1999-09-01
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
遠藤 勝義
阪大院工
-
押鐘 寧
阪大院工
-
片岡 俊彦
阪大院工
-
井上 晴行
阪大院工
-
横山 能幸
阪大院
-
片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
-
遠藤 勝義
阪大院・工
-
相本 秀一
阪大院
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