触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC, GaN, ZnO表面の平滑化
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概要
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- 2012-06-10
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
山内 和人
阪大院工
-
山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
有馬 健太
大阪大学 大学院工学研究科
-
山内 和人
阪大工
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科
-
山内 和人
大阪大学大学院 工学研究科
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