プラズマCVMによるSOIの数値制御薄膜化 : 加工面のデバイス特性評価
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
上島 洋輝
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院
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