触媒基準エッチング法(CAtalyst Referred Ething: CARE)の開発--SiC, GaN基板加工への応用 (特集 グリーンエネルギー時代を支える先進加工技術とその課題)
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概要
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
山内 和人
阪大院工
-
有馬 健太
阪大院工
-
山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
Yamamura K
Kyoto Univ. Kyoto
-
有馬 健太
大阪大学 大学院工学研究科
-
Yamauchi Kazuto
Department Of Precision Science And Technology Graduate School Of Engineering Osaka University
-
山内 和人
阪大工
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