プラズマCVMによるSOlの数値制御薄膜化:薄膜化した8インチSOlウエハのデバイス特性
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概要
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- 2002-03-01
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
上島 洋輝
大阪大学大学院工学研究科
-
沖 一郎
シャープ(株)IC事業本部
-
伊佐次 晃司
シャープ(株)IC事業本部
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院
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