マイクロ電極を用いたプラズマCVMによる複雑形状光学面の創成加工
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
藤井 隆
電力中央研究所
-
根本 孝七
電力中央研究所
-
後藤 直彦
電力中央研究所
-
山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
伊藤 博
ニコン
-
根本 孝七
電力中央研究所 電力技術研究所
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
-
柴田 規夫
(株)栃木ニコン
-
瀧野 日出雄
(株)ニコン
-
瀧野 日出雄
ニコン
-
柴田 規夫
ニコン
-
小林 輝紀
ニコン
-
後藤 直彦
(財)電力中央研究所 電力技術研究所
-
後藤 直彦
電力中央研 電力技研
-
山村 和也
大阪大学大学院
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