佐野 泰久 | 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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概要
関連著者
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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佐野 泰久
阪大院工
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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山村 和也
大阪大学大学院
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佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
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森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
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山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
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山内 和人
阪大院工
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山内 和人
大阪大学大学院 工学研究科
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三村 秀和
大阪大 大学院工学研究科
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三村 秀和
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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三村 秀和
大阪大学大学院工学研究科
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三村 秀和
阪大院工
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三村 秀和
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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遠藤 勝義
大阪大学大学院工学研究科
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遠藤 勝義
大阪大学大学院
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Yamamura K
Kyoto Univ. Kyoto
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柴原 正文
兵庫県立工業技術センター
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矢橋 牧名
JASRI
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玉作 賢治
理研
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玉作 賢治
理化学研究所播磨研究所
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石川 哲也
理化学研究所放射光科学総合研究センター
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森 勇蔵
大阪大学工学部精密工学科
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森 勇蔵
大阪大 工
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森 勇臓
大阪大学大学院工学研究所
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矢橋 牧名
高輝度光科学研究センター放射光研究所
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石川 哲也
理化学研究所
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遠藤 勝義
阪大院工
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スボロフ アレクセイ
高輝度光科学研究センター放射光研究所
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SOUVOROV Alexei
高輝度光科学研究センター
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Souvorov A
高輝度光科学研究セ
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Souvorov A
高輝度光科学研究セ 放射光研
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柴田 規夫
(株)栃木ニコン
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瀧野 日出雄
(株)ニコン
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瀧野 日出雄
ニコン
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脇坂 彰一
兵庫県立工業試験場
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片岡 俊彦
大阪大学大学院
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柴田 規夫
ニコン
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小林 輝紀
ニコン
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片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
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脇坂 彰一
兵庫県立工業技術センター
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松山 智至
阪大院工
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湯本 博勝
JASRI/SPring-8
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原 英之
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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松山 智至
大阪大学大学院
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久保田 章亀
熊本大学大学院工学研究科
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伊藤 博
ニコン
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久保田 章亀
大阪大学大学院工学研究科
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原 英之
大阪大学 大学院工学研究科
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杉山 剛
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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押鐘 寧
大阪大学大学院工学研究科
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湯本 博勝
高輝度光科学研究センター
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杉山 剛
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻:(現)(株)ニコン
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
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岡本 武志
阪大院工
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服部 梓
阪大院工
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齋藤 彰
大阪大学大学院工学研究科
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須川 成利
東北大学大学院工学研究科
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有馬 健太
阪大院工
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西野 吉則
理化学研究所
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沖田 耕三
兵庫県立工業試験場
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斉藤 彰
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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玉作 賢治
RIKEN
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石川 哲也
RIKEN
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湯本 博勝
大阪大学大学院
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有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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上野 一匡
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科
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金岡 政彦
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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田中 宏明
(株)ニコン
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有馬 健太
大阪大学 大学院工学研究科
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大嶋 一郎
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大嶋 一郎
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
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森田 諭
大阪大学大学院工学研究科
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森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科
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上島 洋輝
大阪大学大学院工学研究科
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森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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江畑 裕介
シャープ(株)
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大嶋 一郎
東北大学大学院工学研究科
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Yamauchi Kazuto
Department Of Precision Science And Technology Graduate School Of Engineering Osaka University
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竹内 博明
シャープ(株)
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北條 義之
シャープ(株)
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服部 梓
大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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岡本 武志
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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定國 峻
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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村田 順二
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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奥田 徹
シャープ株式会社生産技術開発推進本部精密技術開発センター
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奥田 徹
シャープ株式会社
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斎藤 彰
大阪大学大学院工学研究科
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竹内 博明
シャープ株式会社
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西川 和宏
シャープ株式会社
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北條 義之
シャープ株式会社
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片山 晋二
大阪大学大学院
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斉藤 祐司
東北大学大学院工学研究科:(現)セイコーエプソン(株)生産技術開発本部
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海老 正美
(株)ニコン
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山本 和也
大阪大学大学院
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沖田 耕三
兵庫県立工業技術センター
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西岡 敏明
兵庫県立工業技術センター機械金属工業指導所
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斉藤 彰
大阪大学
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西岡 敏明
兵庫県立工業技術センター
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湯本 博勝
Jasri
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有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科
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坂本 正雄
阪大工
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広瀬 喜久治
大阪大学大学院工学研究科
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松本 光弘
大阪大学大学院医学系研究科保健学専攻
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矢橋 牧名
SPring-8 JASRI
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玉作 賢治
SPring-8 理研
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石川 哲也
SPring-8 理研
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矢橋 牧名
財団法人高輝度光科学研究センター
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石川 哲也
(独)理化学研究所播磨研究所
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村田 順二
阪大院工
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石川 哲也
独立行政法人理化学研究所播磨研究所
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後藤 英和
京都工芸繊維大学工芸学部
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藤井 隆
電力中央研究所
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根本 孝七
電力中央研究所
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後藤 直彦
電力中央研究所
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SOUVOROV Alexei
JASRI
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山村 和也
超精密研究センター
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西野 吉則
SPring-8
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杉山 和久
高知高専
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根本 孝七
電力中央研究所 電力技術研究所
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園田 司
兵庫県立工業技術センター
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山本 雄介
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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関戸 康裕
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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斎藤 彰
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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沖 一郎
シャープ(株)IC事業本部
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伊佐次 晃司
シャープ(株)IC事業本部
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SOUVOROV A.
JASRI
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岸本 宏樹
大阪大学大学院精密科学専攻
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杉山 和久
大阪大学大学院
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安 弘
大阪電気通信大学工学部
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井上 晴行
大阪大学大学院
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松本 光弘
三洋電機(株)
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後藤 英和
阪大院工
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山内 和人
阪大工
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谷口 美樹
電気興業株式会社
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石川 俊夫
科学技術振興事業団
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リュウノ野 勝
シャープ株式会社
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貫井 孝
シャープ株式会社
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江畑 裕介
SHARP株式会社
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江畑 裕介
大阪大学大学院
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岡本 利樹
明昌機工(株)
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足立 真士
明昌機工(株)
-
松本 光弘
三洋電機
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柴田 規夫
(株)ニコン
-
伊藤 博
(株)ニコン
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小林 輝紀
(株)ニコン
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田中 宏明
ニコン
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海老 正美
ニコン
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荒 健一
ニコン
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横山 能幸
阪大院
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谷口 美樹
電気興業
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後藤 直彦
(財)電力中央研究所 電力技術研究所
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坂本 正雄
阪大・工・精密
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松本 光弘
大阪大学大学院
-
後藤 直彦
電力中央研 電力技研
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安 弘
阪電通
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玉田 浩平
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
鴻池 満司
大阪大学大学院精密科学専攻
-
相本 秀一
阪大院
-
相本 秀一
大阪大学大学院工学研究科
-
横山 能幸
大阪大学大学院工学研究科
-
坂本 正雄
新技術事業団
-
玉田 浩平
大阪大学大学院工学研究科
-
齋藤 彰
大阪大学大学院
-
齋藤 彰
理研 Sprine-8:大阪大院工:科学技術振興機構icorp
-
山内 和人
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
-
大見 忠弘
東北大学未来科学共同センター
著作論文
- X線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発 : —形状修正加工の高分解能化とX線集光ミラーへの適応—
- 超平坦化加工を施した4H-SiC(0001)表面--高品質グラフェン作製への応用 (第29回表面科学学術講演会特集号(3))
- プラズマCVMおよびEEMによる放射光用X線ミラーの作製とその応用 : 硬X線顕微鏡の開発
- 触媒基準エッチング法
- 高精度非球面ミラーの加工技術
- 高分解能硬X線顕微鏡のためのミラーマニピュレータの開発 : 硬X線領域における50nm以下の回折限界集光の実現
- 硬X線ナノ集光用超高精度楕円ミラーの作製と1次元集光性能の評価
- EEM(Elastic Emission Machining)による4H-SiC(0001)表面の平滑化
- 硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 加工装置の開発と基本的加工特性の取得
- 高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発
- 数値制御プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining)によるSOIの薄膜化 : デバイス用基板としての加工面の評価
- 数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)によるSOIの薄膜化 : 加工装置の開発と超薄膜SOIウエハの試作
- プラズマCVMおよびEEMによるシンクロトロン放射X線用楕円ミラーの作製と集光特性の評価
- プラズマCVMによるSOlの数値制御薄膜化:薄膜化した8インチSOlウエハのデバイス特性
- プラズマCVMおよびEEMによるX線平面ミラーの加工と放射光による評価
- 数値制御プラズマ CVM(Chemical Vaporization Machining) によるSOIの薄膜化 : デバイス用基板としての加工面の評価
- 超平坦化加工を施した4H-SiC(0001)表面 : 高品質グラフェン作製への応用
- SPV(Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発
- プラズマCVM加工における電極/ワーク間ギャップセンサの開発
- 回転電極型プラズマCVM法におけるシリコンの加工速度向上に関する-検討
- 大気圧プラズマインピーダンス測定(第2報) : 測定装置内電磁界解析による測定原理の検証
- 大気圧プラズマインピーダンス測定(第1報) -測定原理, 測定結果, およびその測定精度について-
- パイプ電極プラズマCVMによる光学平面の創成加工
- プラズマCVMによる光学面の形状創成 -第2報 : パイプ電極プラズマCVM装置による非球面加工-
- プラズマCVMによる光学部品の超精密加工 : 薄肉光学部品の加工特性
- 先端半球ロッド電極を用いたプラズマCVMによる光学面の加工
- マイクロ電極を用いたプラズマCVMによる複雑形状光学面の創成加工
- EEM (Elastic Emission Machining)用微粒子作製装置の開発
- 赤外半導体レーザー吸収分光法による大気圧・高周波プラズマ中のラジカル計測
- プラズマCVMによる機能材料の切断加工 : 内周刃型切断加工装置の試作とその切断加工特性
- プラズマCVMにおける切断加工に関する研究(第5報) : 加工ギャップのその場観察
- プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究(第4報)-加工ギャップ制御方法-
- 数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究(第2報)
- プラズマCVMによるSOIの数値制御薄膜化 : 加工面のデバイス特性評価
- 数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究(第1報) : X線ミラー加工用装置の開発
- 数値制御プラズマCVM加工装置の開発(第4報)
- 数値制御プラズマCVM加工装置の開発(第3報)
- 数値制御プラズマCVM加工装置の開発(第2報)
- Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究(第3報) -加工面の平坦度と電極形状ならびに試料保持方法の相関(その2)-
- プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究 -切断加工用高速回転電極の試作とその加工特性-
- プラズマCVMの開発
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第4報) : 光電子増倍管出力特性の定式化とダイナミックレンジの改善法
- プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における加工現象の第一原理分子動力学シミュレーション(第5報)-Si表面とハロゲン原子の相互作用の解析(その3)-
- プラズマCVMにおける基礎研究 : 単結晶シリコンの加工における加工条件と表面粗さの相関
- プラズマCVMにおける高融点金属材料の加工特性
- プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工
- プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工 (第3報)
- プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工 (第2報)