杉山 剛 | 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻:(現)(株)ニコン

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概要

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関連著者

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 遠藤 勝義

  阪大院工

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院工学研究科

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院

• 森 勇藏

  大阪大学大学院 工学研究科

• 柴原 正文

  兵庫県立工業技術センター

• 杉山 剛

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 森 勇蔵

  大阪大学工学部精密工学科

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

• 杉山 剛

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻:(現)(株)ニコン

• 森 勇蔵

  大阪大 工

• 森 勇臓

  大阪大学大学院工学研究所

• 山村 和也

  大阪大学大学院

• 森 勇藏

  大阪大学大学院工学研究科

• 森 勇蔵

  大阪大学大学院工学研究科

• 山本 雄介

  大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻

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著作論文

• 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
• 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
• 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 加工装置の開発と基本的加工特性の取得

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