柴原 正文 | 兵庫県立工業技術センター
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概要
関連著者
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柴原 正文
兵庫県立工業技術センター
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山村 和也
大阪大学大学院
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佐野 泰久
阪大院工
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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脇坂 彰一
兵庫県立工業試験場
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佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
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遠藤 勝義
大阪大学大学院
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杉山 剛
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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脇坂 彰一
兵庫県立工業技術センター
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森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
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遠藤 勝義
阪大院工
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沖田 耕三
兵庫県立工業試験場
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遠藤 勝義
大阪大学大学院工学研究科
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森 勇蔵
大阪大学工学部精密工学科
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杉山 剛
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻:(現)(株)ニコン
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沖田 耕三
兵庫県立工業技術センター
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西岡 敏明
兵庫県立工業技術センター機械金属工業指導所
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森 勇蔵
大阪大 工
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西岡 敏明
兵庫県立工業技術センター
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森 勇臓
大阪大学大学院工学研究所
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山村 和也
大阪大学 大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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山本 雄介
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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山村 和也
大阪大学
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佐野 泰久
大阪大学
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園田 司
兵庫県立工業技術センター
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稲垣 官司
(株)ライト黒板製作所
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森 勇蔵
大阪大学 工学部
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
著作論文
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 加工装置の開発と基本的加工特性の取得
- 大気圧プラズマ処理によるポリエチレンテレフタレートの表面改質
- 超精密加工 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工
- プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究(第4報)-加工ギャップ制御方法-
- 数値制御プラズマCVM加工装置の開発(第3報)
- プラズマCVMにおける高融点金属材料の加工特性
- プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工 (第3報)
- プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工 (第2報)
- プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工
- Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM:—Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode—