山村 和也 | 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センターの論文著者

関連著者

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院

• 森 勇藏

  大阪大学大学院 工学研究科

• 柴原 正文

  兵庫県立工業技術センター

• 杉山 剛

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 山本 雄介

  大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻

• 山村 和也

  大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

著作論文

• Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM:—Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode—

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