山本 雄介 | 大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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概要
関連著者
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遠藤 勝義
大阪大学大学院
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森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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柴原 正文
兵庫県立工業技術センター
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杉山 剛
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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山本 雄介
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
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山村 和也
大阪大学大学院
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佐野 泰久
阪大院工
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遠藤 勝義
阪大院工
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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遠藤 勝義
大阪大学大学院工学研究科
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森 勇蔵
大阪大学工学部精密工学科
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杉山 剛
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻:(現)(株)ニコン
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森 勇蔵
大阪大 工
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森 勇臓
大阪大学大学院工学研究所
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
著作論文
- 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究 : 回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化
- Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM:—Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode—