山村 和也 | 大阪大学 大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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概要
関連著者
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山村 和也
大阪大学 大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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佐野 泰久
阪大院工
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山内 和人
阪大院工
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佐野 泰久
大阪大学 大学院工学研究科
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山内 和人
大阪大学 大学院工学研究科
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柴原 正文
兵庫県立工業技術センター
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森 勇藏
大阪大学 大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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安 弘
大阪電気通信大学工学部
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稲垣 耕司
大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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遠藤 勝義
大阪大学 大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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稲垣 官司
(株)ライト黒板製作所
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片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
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南川 文孝
大阪電気通信大学 工学部
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安 弘
阪電通
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森 勇蔵
大阪大学 工学部
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片岡 俊彦
大阪大学 工学部
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井上 晴行
大阪大学 工学部
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南川 文孝
大阪電気通信大学工学部
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山村 和也
大阪大学大学院
著作論文
- 大気圧プラズマ処理によるポリエチレンテレフタレートの表面改質
- 超精密加工 数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工
- Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるポリシング加工に関する研究(第1報) -ポリシング加工用高速回転型電極の試作とその加工特性-
- Plasma CVM(Chemical Vaporization Machining)におけるNC加工に関する研究(第1報) -NC加工用高速回転型電極の試作とその加工特性-
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第5報) -ダイナミックレンジの改善法と標準粒子の測定-