井上 晴行 | 大阪大学 工学部
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概要
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片岡 俊彦
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大阪大学大学院工学研究科
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大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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池田 和浩
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著作論文
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- 微小共振球をプローブとした近接場光学顕微鏡の開発 -微小共振球プローブの開発-
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第6報) -Siウェーハ面の測定と微粒子付着分布による表面評価-
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第5報) -ダイナミックレンジの改善法と標準粒子の測定-
- レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -冷却CCDカメラによる測定-
- 光ファイバリング共振器を用いた近接場の発生・検知システムの開発