プラズマCVMおよびEEMによるX線平面ミラーの加工と放射光による評価

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概要

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• 2002-03-01

著者

• 矢橋 牧名

  JASRI

• 玉作 賢治

  理研

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 山内 和人

  阪大院工

• 三村 秀和

  阪大院工

• 玉作 賢治

  理化学研究所播磨研究所

• 森 勇蔵

  大阪大学大学院工学研究科

• 山内 和人

  大阪大学大学院工学研究科

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大 大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 斉藤 彰

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 玉作 賢治

  RIKEN

• 石川 哲也

  RIKEN

• スボロフ アレクセイ

  高輝度光科学研究センター放射光研究所

• 石川 哲也

  理化学研究所放射光科学総合研究センター

• 金岡 政彦

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• SOUVOROV Alexei

  高輝度光科学研究センター

• SOUVOROV A.

  JASRI

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻

• Souvorov A

  高輝度光科学研究セ

• Souvorov A

  高輝度光科学研究セ 放射光研

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

• 斉藤 彰

  大阪大学

• 山村 和也

  大阪大学大学院

• 山内 和人

  大阪大学大学院 工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科

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