杉山 和久 | 大阪大学大学院
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概要
関連著者
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杉山 和久
高知高専
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杉山 和久
大阪大学大学院
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山内 和人
大阪大学大学院工学研究科
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山内 和人
大阪大学大学院 工学研究科
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稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
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打越 純一
大阪大学大学院
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打越 純一
大阪大学
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山内 和人
阪大院工
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森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
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三村 秀和
大阪大 大学院工学研究科
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三村 秀和
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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遠藤 勝義
大阪大学大学院工学研究科
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遠藤 勝義
大阪大学大学院
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森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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島田 尚一
大阪大学大学院
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三村 秀和
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
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三村 秀和
大阪大学大学院工学研究科
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三村 秀和
阪大院工
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片岡 俊彦
大阪大学大学院
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片岡 俊彦
大阪大 大学院工学研究科
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東 保男
高エネルギー加速器研究機構
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東保 男
高エ研
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幾島 悠喜
住友重機械工業株式会社
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大谷 和男
大阪工業技術試験所
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大谷 和男
大阪工業技術研究所
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大谷 和男
工業技術院大阪工業技術研究所
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今井 利幸
大阪大学大学院工学研究科
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東 保男
Kek
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佐野 泰久
阪大院工
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佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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押鐘 寧
大阪大学大学院工学研究科
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南部 征一郎
大阪大学大学院
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平岡 大治
光洋精工総合技術研究所
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安 弘
大阪電気通信大学工学部
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井上 晴行
大阪大学大学院
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稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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金村 一秀
大阪大学大学院
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
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井山 章吾
大阪大学大学院
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牧野 修之
大阪大学大学院
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安 弘
阪電通
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牧野 修之
大阪大学大学院:(現)シャープ(株)
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山村 和也
大阪大学大学院
著作論文
- 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報) -ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-
- 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第1報) -超純水静圧軸受けを用いた数値制御ステージシステムの開発-
- 傾斜角積分法による形状測定(第2報)-EEMよる修正加工前後の形状測定-
- 傾斜角積分法による形状測定(第1報)-製作した自動測定装置の性能-
- 数値制御EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発 : nmオーダでの加工精度の評価
- SPV(Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発
- EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究(第1報) : nmオーダの形状修正加工システムの開発
- 超洗浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究(第1報) : シリコン表面の平坦化及び評価
- EEM(Elastic Emission Machining)に関する研究 : 加工液中の溶存酸素がSiウエハ表面に与える影響
- レーザ光散乱法によるSiウエハ付着微粒子計測装置の開発