稲垣 耕司 | 大阪大学大学院工学研究科

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概要

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• 大阪大学大学院工学研究科の論文著者

関連著者

• 稲垣 耕司

  大阪大学大学院工学研究科

• 山内 和人

  大阪大学大学院 工学研究科

• 山内 和人

  大阪大学大学院工学研究科

• 山内 和人

  阪大院工

• 森 勇蔵

  大阪大学大学院工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大 大学院工学研究科

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻

• 稲垣 耕司

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 三村 秀和

  阪大院工

• 三村 秀和

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 森 勇藏

  大阪大学大学院 工学研究科

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院

• 杉山 和久

  高知高専

• 森 勇藏

  大阪大学大学院工学研究科

• 片岡 俊彦

  大阪大学大学院

• 片岡 俊彦

  大阪大 大学院工学研究科

• 稲垣 耕司

  阪大工

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院工学研究科

• 久保田 章亀

  大阪大学大学院工学研究科

• 杉山 和久

  大阪大学大学院

• 有馬 健太

  大阪大学大学院工学研究科

• 有馬 健太

  阪大院工

• 有馬 健太

  大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻

• 久保田 章亀

  熊本大学大学院工学研究科

• 有馬 健太

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 有馬 健太

  大阪大学 大学院工学研究科

• 井上 晴行

  大阪大学大学院

• 広瀬 喜久治

  大阪大学大学院工学研究科

• 島田 尚一

  大阪大学大学院

• 押鐘 寧

  大阪大学大学院工学研究科

• 打越 純一

  大阪大学大学院

• 打越 純一

  大阪大学

• Yamamura K

  Kyoto Univ. Kyoto

• 神尾 豪

  大阪大学大学院工学研究科

• 稲垣 耕司

  阪大院工:jst-crest

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 遠藤 勝義

  阪大院工

• 山村 和也

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 大谷 和男

  大阪工業技術試験所

• 大谷 和男

  大阪工業技術研究所

• 大谷 和男

  工業技術院大阪工業技術研究所

• 新林 洋介

  大阪大学大学院工学研究科

• 多田羅 佳孝

  大阪大学大学院

• 中越 亮祐

  大阪大学大学院工学研究科

• 今井 利幸

  大阪大学大学院工学研究科

• 森 勇蔵

  大阪大学工学部精密工学科

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院

• 後藤 英和

  京都工芸繊維大学工芸学部

• 杉山 和久

  高知高等専門学校

• 杉山 和久

  高知高専専門学校

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

• 金岡 政彦

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 関戸 康裕

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 南部 征一郎

  大阪大学大学院

• 平岡 大治

  光洋精工総合技術研究所

• 安 弘

  大阪電気通信大学工学部

• 中越 亮佑

  大阪大学大学院工学研究科

• 小野 倫也

  大阪大学大学院工学研究科:大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 大和 正和

  大阪大学大学院

• 押 鐘寧

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 増田 裕一

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 杉山 和人

  高知高専

• 後藤 英和

  阪大院工

• 金村 一秀

  大阪大学大学院

• 遠藤 勝義

  大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

• 重信 安志

  阪大院

• 和泉 紋弘

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 牧野 修之

  大阪大学大学院

• 安 弘

  阪電通

• 牧野 修之

  大阪大学大学院:(現)シャープ(株)

• 森 勇蔵

  大阪大 工

• 森 勇臓

  大阪大学大学院工学研究所

• 杉江 利章

  大阪大学大学院工学研究科

• 重信 安志

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 森 勇蔵

  大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター

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著作論文

• EEM(Elastic Emission Machining)プロセスにおける微粒子表面の形態が加工表面に及ぼす影響
• EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化(第2報) : 加工表面の原子像観察と構造評価
• EEM(Elastic Emission Machining)によるSi(001)表面の平坦化(第1報) : 半導体表面の超平坦化のための超清浄EEMシステムの開発
• 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報) -ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-
• 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第1報) -超純水静圧軸受けを用いた数値制御ステージシステムの開発-
• 超清浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究 : 最適加工条件の探索
• 超清浄EEM (Elastic Emission Machining)加工システムの開発:加工表面の原子レベルでの評価
• 超清浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究(第2報) : 原子像による加工表面の評価
• Elastic Emission Machiningにおける表面原子除去過程の解析とその機構の電子論的な解釈
• 第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Maching)加工機構の解明:加工物表面構造に対する反応性の依存性
• STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析
• STM/STSによるSiウェーハ表面の金属原子の観察
• STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析
• 第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Machining)加工特性の加工物材料(Si, Ge)依存性の解析
• 数値制御EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発 : nmオーダでの加工精度の評価
• SPV(Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発
• EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究(第1報) : nmオーダの形状修正加工システムの開発
• 超洗浄EEM(Elastic Emission Machining)システムに関する研究(第1報) : シリコン表面の平坦化及び評価
• 第一原理分子動力学シミュレーションによるEEM(Elastic Emission Machinig)加工機構の解明 : Si(001)表面とSiO_2微粒子の結合過程および分離過程の解明
• EEM(Elastic Emission Machining)による超精密数値制御加工に関する研究(第3報) : 形状修正加工システムの高精度化
• α-FLOWによるノズル先端の流れの解析
• EEM(Elastic Emission Machining)に関する研究 : 加工液中の溶存酸素がSiウエハ表面に与える影響
• 光反射率スペクトルによるSiウエハ表面評価法の開発 : 装置の開発と加工表面評価
• 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発(第4報) : 光電子増倍管出力特性の定式化とダイナミックレンジの改善法
• 金属微小球をプローブとした近接場光学顕微鏡
• Flattening of Si (001) Surface by EEM (Elastic Emission Machining):—Atomic Structure Identification of Processed Surface—
• レーザ光散乱によるSiウェーハ表面の微粒子計測

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