プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による超精密加工
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2001-03-10
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
-
佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院
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