触媒表面基準エッチングによる単結晶SiC,GaN表面の平滑化 (特集 先端電子デバイスの量産を支える超精密研磨技術)

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概要

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著者

• 佐野 泰久

  阪大院工

• 山内 和人

  阪大院工

• 佐野 泰久

  大阪大 大学院工学研究科

• 有馬 健太

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

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