27pPSA-45 第一原理分子動力学シミュレーションを用いたα-アルミナ表面の化学反応によるエッチングプロセスの探索(領域9ポスターセッション)(領域9)
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2004-03-03
著者
-
佐野 泰久
阪大院工
-
遠藤 勝義
阪大院工
-
稲垣 耕司
阪大工
-
佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
-
山村 和也
阪大院工
-
稲垣 耕司
阪大院工
-
掛谷 悟史
阪大・工
-
広瀬 喜久冶
阪大院工
-
稲垣 耕司
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
稲垣 耕司
阪大院工:jst-crest
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