柴田 規夫 | ニコン
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概要
関連著者
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柴田 規夫
(株)栃木ニコン
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瀧野 日出雄
(株)ニコン
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瀧野 日出雄
ニコン
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柴田 規夫
ニコン
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小林 輝紀
ニコン
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森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
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佐野 泰久
阪大院工
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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伊藤 博
ニコン
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佐野 泰久
大阪大学大学院工学研究科
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山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
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山村 和也
大阪大学大学院
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山村 和也
大阪大学
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田中 宏明
(株)ニコン
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海老 正美
(株)ニコン
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田中 宏明
ニコン
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海老 正美
ニコン
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森 勇蔵
大阪大学 工学部
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森 勇藏
大阪大学大学院工学研究科
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佐野 泰久
大阪大 大学院工学研究科
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藤井 隆
電力中央研究所
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根本 孝七
電力中央研究所
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後藤 直彦
電力中央研究所
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森 勇藏
大阪大学大学院 工学研究科
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山本 貴広
ニコン
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根本 孝七
電力中央研究所 電力技術研究所
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伊藤 彰則
ニコン
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谷口 美樹
電気興業株式会社
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久岐 正明
ニコン
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小松田 秀基
ニコン
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五明 由夫
ASET(超先端電子技術開発機構)
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杉崎 克己
ASET(超先端電子技術開発機構)
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荒 健一
ニコン
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山本 和也
大阪大学大学院
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谷口 美樹
電気興業
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後藤 直彦
(財)電力中央研究所 電力技術研究所
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後藤 直彦
電力中央研 電力技研
著作論文
- プラズマCVMによる光学面の形状創成 -第2報 : パイプ電極プラズマCVM装置による非球面加工-
- プラズマCVMによる光学面の形状創成 -第1報 : パイプ電極を用いた数値制御プラズマCVM装置の開発-
- 224 複雑形状フライアイミラーの開発(OS5 電子部品・光学部品の超精密加工)
- プラズマCVMによる光学部品の超精密加工 : 薄肉光学部品の加工特性
- プラズマCVMによる光学面のサブナノ精度加工
- 先端半球ロッド電極を用いたプラズマCVMによる光学面の加工
- マイクロ電極を用いたプラズマCVMによる複雑形状光学面の創成加工
- プラズマCVM加工面に影響を与える前加工面の加工変質層について