レーザ誘起蛍光分光法による大気圧・高周波CF_4プラズマ中のラジカル密度の空間分布計測
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
遠藤 勝義
大阪大学大学院工学研究科
-
遠藤 勝義
大阪大学大学院
-
押鐘 寧
大阪大学大学院工学研究科
-
川島 祥一
大阪大学大学院工学研究科
-
竹本 健一
大阪大学大学院工学研究科
-
押鐘 寧
大阪大 大学院工学研究科
-
山村 和也
大阪大学大学院
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