レーザー冷却法を用いた異方性ドライエッチングプロセスの開発 : フッ素ラジカルの生成と準安定状態の寿命測定
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
森 勇蔵
大阪大学大学院工学研究科
-
竹内 昭博
大阪大学大学院
-
芳井 熊安
大阪大学大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学 大学院工学研究科
-
安武 潔
大阪大学
-
垣内 弘章
大阪大学 大学院工学研究科
-
大参 宏昌
大阪大学 大学院工学研究科
-
垣内 弘章
大阪大学工学部
-
吉井 熊安
大阪大学工学部
-
清水 正男
(株)日本アイ・ビー・エム
-
清水 正男
日本IBM
-
田中 亮
大阪大学
-
村上 健
大阪大学
-
阿武 潔
大阪大学大学院工学研究科
-
芳井 熊安
大阪大学工学部精密工学科
-
森 勇蔵
大阪大学 工学部
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